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2020/10/16 来源:恩施信息港

导读

上海汉虹12英寸半导体单晶炉开始批量投入产线使用8月1日,据上海汉虹精密机械有限公司官网消息,该公司12英寸半导体单晶炉(FT-CZ32

上海汉虹12英寸半导体单晶炉开始批量投入产线使用

8月1日,据上海汉虹精密机械有限公司官网消息,该公司12英寸半导体单晶炉(FT-CZ3212B)开始批量投入产线使用。该设备可稳定量产高品质大直径晶棒,也标志着12英寸硅片大规模、产业化布局取得了关键成效。相较于8英寸国产硅片的量产进度,12英寸国产硅片远未进入产能释放阶段,与庞大的需求相比供应量远远不足。初步估计,到2020年我国大陆芯片制造能力有望达到全球的30%,届时我国大陆12英寸硅片产能与芯片代工产能严重失配。除了供需缺口之外,我国12英寸硅片产品的质量也急待提升。

官网显示,上海汉虹全自动12英寸半导体绦纶生产企业迎来了丰收之年单晶炉在均匀和缺陷密度等方面达到了新的高度,突破了国内晶体硅材料生长设备、特别是大直径晶体硅材料生长设备长期被国外大型企业垄断的产业格局。

上海汉虹精密机械有限公司是Ferrotec集团的全资子公司,成立于2005年,是一家以研发、生产和销售精密机械装备为主的公司,Ferrotec集团即日本磁性技术控股公司,服务于国际知名的半导体/LED、光纤通信、电力电子、工业洗涤、新能源汽车/高铁、家电/医疗等诸多行业领域客户,目前在中国境内拥有旗下21家公司和制造基地。

2019年5月6日,在上海汉虹单晶炉生产车间一条横幅“全新一代大尺寸硅零部件单晶炉(FT-CZ1400SI)安装调试顺利完成”低调地映入全体员工的眼球,这一大好喜讯预示着汉虹公司最主要支柱产业——晶体生长炉,在原有太阳能级、半导体级单晶炉系列产品中又添加了一个重要成员——大尺寸硅零件级单晶炉。这一单晶炉的研制成功,更加奠定了上海汉虹公司在单晶炉研发制造行业内的龙头地位。使我国大尺寸硅单晶生长设备及核心工艺进入国际先进水平,打破了国外产品的长期垄断和技术封锁,对实现集成电路重大技术装备国产化具有重大意义。

随着硅材料应用越来越普遍,市场对硅零部件需求量不断增加,为适应市场需求而开展硅单晶炉的研发工作变得迫切而有意义。同时,全球研究机构SUMCO(日本三菱住友株式会社)从需求总量上对硅片需求量进行统计发现,近年来全球12寸硅片市场需求逐年稳步提高。而目前国内硅片市场主要依赖进口,这使得研发大尺寸生长单晶硅设备,增大国内大尺寸硅片市场供给量变得十分必要。

硅单晶炉是利用直拉法制备集成电路用硅材料的重要设备,大(直径)尺寸微纳米集成电路用硅材料对硅单晶生长工艺以及控制方法提出了更加苛刻的要求。国内同行业中目前最大尺寸在300mm。本产品针对极大规模集成电路、半导体分立器件,半导体硅蚀刻设备用硅部件材料单晶生长中关键变量的检测与处理、杂质含量与微缺陷抑制、生长工艺与控制方法、整机优化设计与制造等核心技术问题,进行研发设计及制造,研制成功12-18英寸450mm以下的大尺寸硅单晶炉,已赶超国内同行水平。本产品设计有超电导磁场装置、激光液位检测方法与装置等方面处于国际领先水平,本产品同时还具备有高精度高转速籽晶升降旋转机构、高精度坩埚升降旋转机构、32寸大尺寸高效保温场、可升降水冷保温环、智能氧化物清扫装置、工艺气体精确控制单元、高分辨率CCD直径控制系统、高精度真空与压力平衡控制系统、节能高效的IGBT直流双输出电源控制系统。

作为以研发制造单晶炉为重要业务范围的上海汉虹公司,紧抓市场需求,展开对大尺寸单晶炉的研发制造工作,适应市场发展需要。为公司获得更大的产业发展空间、良好的经济效益和巨大的社会效应提供了基础,有机会让企业在单晶炉发展领域迈入新的台阶。

为实现这一发展目标,上海汉虹公司全体员工一直以来没有停止努力的步伐。公司研发中心结晶炉项目组有资深机械、电气、软件、工艺等工程师,他们组成具有丰富经验的研发设计团队。这一团队长期从事晶体生长设备的研制、工艺探索,对拉晶技术要求明晰,设计结构合理,且有丰富的设备安装调试以及工艺技术经验,这些为保证研发工作的顺利完成打下了坚实的基础。研发团队中的每个成员都具有极大的工作积极性与责任心,围绕着共同的目标,工程师们每天积极投入繁忙的工作,甚至夜以继日和放弃节假日休息。在已有对直拉式单晶炉的研发基础上,工程师们进行无数会议讨论,经验总结,以及新设备研发资料收集,建立完善的理论基础及研发方案,再而进行设计开发,三维模型设计,动作模拟,受力分析,优化设计,这其中的每一步都浸满工程师们的辛劳与汗水。在设备安装阶段,工程师与现场工人一起精益求精的安装,终于这一大尺寸硅单晶炉组立完成,进入最终的调试阶段。新设备研制成功并不都是一蹴而就,单晶炉调试过程中,工程师们围绕设备忙前忙后,一站就是一整天。参与调试人员在这一“庞大”机器间来回穿梭,不断地仔细检查确认,只为设备按时完成调试运行。功夫不负有心人,在调试组全员密切配合下,设备在预期的时间内调试完成,各项技术参数都完美达标。

此次大尺寸硅零部件单晶炉的研制成功及后续投产使用,有望弥补国内大尺寸单晶炉的空缺,填充市场对大尺寸硅片的需求。这对提高公司的产品竞争力有很大意义。大尺寸硅零部的生产有望为公司创造可观利润。让我们怀揣期待,去收获这即将绽开的辉煌。

文章来源:集微网

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